EUV材料

极端紫外线光刻

使用EUV面临的最大问题是RLS折衷:分辨率,线宽粗糙度和光敏性同时提高。

啤酒科学的好处®EUV材料

  • 较少的线宽粗糙度(LWR)和线边缘粗糙度(LER)
  • 由印刷特征的高纵横比引起的图案塌陷和微桥接
  • 更好地粘附
  • 在开发期间强烈的毛细管力量效果较小
  • 在EUV暴露期间,少于正色调光致抗蚀剂

产品特定性质

材料 厚度 旋转速度(RPM)粘度(CP)
E²STACK. ®AL412-301.512 nm 1500 rpm. 205°C,60秒 1.57
E²STACK. ® AL412-302 20 nm 1500 rpm. 205°C,60秒 1.57
E²STACK. ® AL412-306 60 nm 1500rpm. 205°C,60秒 1.75

啤酒科学 从15年前开始在EUV材料上工作,重点是材料,以增强现有EUV抗蚀剂的过程窗口。在那时,啤酒科学已经在e下创造了多个辅助层材料2®材料伞。这些材料是EUV底层的行业标准,能够更快地开发EUV光刻胶和过程。多年来,这些EUV材料扩展到多层材料以及新的含金属辅助层中,以改善模式转移和EUV剂量敏感性。 Brewer Science继续与所有主要行业EUV玩家密切合作,以确保从研发到生产的平稳过渡。

为什么EUV材料

使用EUV面临的最大问题是RLS折衷:分辨率,线宽粗糙度和光敏性同时提高。

ITRS 2015的图形显示了DSA和EUV的比较。