保护涂料

湿法蚀刻是一种较低成本,更高通量的干蚀刻处理的替代品。 BrewerScience®Protek®系列蚀刻保护涂料使得硅,化合物半导体和玻璃具有简单,有效的湿蚀刻工艺。

硅湿蚀刻介绍

  • 湿法蚀刻使用KOH,TMAH或其他碱性蚀刻剂
  • 湿法蚀刻导致沿硅晶面的各向异性蚀刻
  • 在湿硅蚀刻期间需要蚀刻防护面罩
  • 常用的晶片常用

 

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湿蚀刻工艺用于制造许多商业设备:

  • 压力传感器
  • MEMS麦克风
  • MEMS加速度计
  • 高亮度LED
  • 微流体装置
  • 高级IC包装

所有啤酒科学®保护涂层允许微机器接近包装,简化了过程并提高了装置产量。与SIO不同,这些薄膜的低温处理允许它们涂覆在CMOS结构上方2或罪的层。

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保护涂层还允许在包装之前释放膜和硅通孔(TSV)的透明掩模和通过硅通孔(TSV)的施加。这种能力可以提高过程和设备产量。


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