蛋白质®PSB涂料

光敏保护涂层

蛋白质®PSB涂层是氮化硅或氧化硅湿蚀刻掩模的旋转替代品。

Protek PSB.

用蛋白质®PSB涂层,您可以:

  • 由于低处理温度,在CMOS结构上使用蚀刻掩模
  • 减少处理时间,因为不需要通过氮化硅的干蚀刻的图案传递
  • 使用批处理而不是单晶片DRIE过程来实现更高的吞吐量

啤酒科学®蛋白质®PSB涂层用于在Sun Microsystems的技术论文中讨论的反向金字塔凹坑的创建,“在第42届年度国际研讨会上展示了第42次国际研讨会上的近距离通信微电子 - 2009年12月1日至5日的San Jose 2009。