顶部防反射涂层与底部抗反射涂层

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TARC VS BARC.

抗反射涂层是光刻的必要部分,具有不断收缩的图案几何形状。抗反射涂层减少抗蚀剂接口的反射率,从而提供更好的线宽控制,具有最小的抗蚀剂性能。通过通过防反射涂层的衰减光或通过将抗反射涂层的折射率匹配在所用的曝光波长下匹配抗反射涂层的折射率来减小反射率。

控制反射率的原因

市场上有两种主要类型的防反射涂料:顶级防反射涂层(Tarcs)&底部抗反射涂层(BARC)。

他们如何工作

顶部防反射涂层
TARCS使用两薄膜(抗蚀剂和TARC)的折射率和厚度来控制通过破坏性干扰的反射率。它不会改变基板的反射率。

好处
简化过程
缺点:
需要单独的废物排水管
环境危害(可含有全氟辛烷磺酸盐(PFOS)和全氟辛酸(PFOA)或其他全氟化物)
没有对反射缺口和地形控制的影响
难以控制厚度
混合会影响抗蚀剂
仅作为Tarc聚合物的边际工艺改进没有最佳的n值完全减少薄膜干扰
底部抗反射涂层
Barcs使用光的折射率,厚度和吸收来控制反射率。它们有效地使基材不反射。

好处:
更好的反射控制和过程稳定性
更大的过程窗口
兼容普通抗蚀剂废物漏斗
反射缺口和地形控制
对于湿开用的Barcs没有蚀刻开放
缺点:
需要蚀刻开放步骤为干燥的barcs

TARCS和BARCS都可以用于相同的过程,BARCS提供更好的CD控制和更广泛的工艺窗口。 Barcs是您希望充分利用昂贵的光刻设备的首选。

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