专利

在Brewer Science,我们相信保护我们的想法和发明是对我们自己和公司未来的投资。我们知道,即使改变技术允许更容易获得许多产品,信息比以往任何时候都更容易获得,我们的发明对我们和世界的发明不那么有价值。通过知识产权保护的安全,我们能够为您带来创新的产品。

待办的

用于3-D IC应用的激光可释放的粘接材料

待办的

用于定向自组装的梯度块共聚物

6,080,530

用于多层光致抗蚀剂工艺的热固性聚酯抗反射涂层

6,042,990

用于多层光致抗蚀剂工艺的热固性聚酯抗反射涂层

6,156,479

热固性抗反射涂层

5,998,090

高光密度超薄有机黑矩阵系统

5,935,760.

用于多层光致抗蚀剂工艺的热固性聚酯抗反射涂层

5,919,599

热固性抗反射涂层在深紫外紫外线

5,919,598

具有热固性抗反射涂层的多层抗蚀剂结构的方法

5,892,096

非升华中UV染料和具有差异溶解度的UTRA薄的抗反射涂层

5,629,665

导电 - 聚合物辐射计

5,693,691

热固性抗反射涂料组合物

5,688,987

非升华中UV染料和超薄有机抗反射涂层具有差异溶解度

5,674,648

抗反射涂层

5,578,676

具有内在光吸收性能的聚合物的方法

RE41128

用于先进的微光刻的有机抗反射涂料组合物

10,331,032

光敏,显影剂 - 可溶性底部抗反射涂层材料

9,638,999

双层光敏显影剂可溶性底部抗反射涂层,用于193-nm光刻

9,482,951

用于光刻工艺的非共价可交联材料

9,328,426

含有亚氨酰基的非聚合抗反射组合物

6,080,530

用于多层光致抗蚀剂工艺的热固性聚酯抗反射涂层

6,042,990

用于多层光致抗蚀剂工艺的热固性聚酯抗反射涂层

5,935,760.

用于多层光致抗蚀剂工艺的热固性聚酯抗反射涂层

5,919,599

热固性抗反射涂层在深紫外紫外线

5,919,598

具有热固性抗反射涂层的多层抗蚀剂结构的方法

5,892,096

非升华中UV染料和具有差异溶解度的UTRA薄的抗反射涂层

5,693,691

热固性抗反射涂料组合物

5,688,987

非升华中UV染料和超薄有机抗反射涂层具有差异溶解度

5,674,648

抗反射涂层

5,578,676

具有内在光吸收性能的聚合物的方法

5,368,989

使用具有光吸收性能的聚合物的光刻制品用于抗反射涂层

6,893,684

抗反射涂料组合物,用于低k介电材料

6,872,506

湿可透过的抗反射组合物

6,846,612

用于先进的微光刻的有机抗反射涂料组合物

6,680,160

卤化防反射涂层

6,670,425

用环氧化物环的抗反射涂层与光衰减化合物和未反应的环氧化物环反应

6,663,916

用环氧化物环的抗反射涂层与光衰减化合物和未反应的环氧化物环反应

6,653,411

抗反射涂料组合物包含聚合氨基塑料

6,576,408

热固性抗反射涂层包括羟丙基纤维素的芳基氨基甲酸酯

6,555,287

非升华,双官能化紫外线用于防反射涂层的紫外染料

6,524,708

抗反射涂料组合物包含聚合氨基塑料

6,512,084

抗反射涂料组合物包含聚合氨基塑料

6,495,305

卤化防反射涂层

6,444,320

热固性防反射涂层,用于全填充双镶嵌工艺

6,432,611

抗反射涂料组合物包含聚合氨基塑料

6,403,152

抗反射涂料组合物包含聚合氨基塑料

6,399,686

抗反射涂料组合物包含聚合氨基塑料

6,391,472

填充双镶嵌过程的材料

6,323,310

抗反射涂料组合物包含聚合氨基塑料

6,316,160

快速蚀刻,热固性抗反射涂层衍生自纤维素粘合剂

6,156,479

热固性抗反射涂层

9,110,372

使用乙烯基醚交联剂的抗反射涂层

8,383,318

酸敏感,显影剂 - 可溶性底部抗反射涂层

8,257,910

EUV光刻的底层

7,998,318

可交联的填充组合物,用于均匀保护通孔和接触孔

7,914,974

用于多个图案化过程的抗反现成像层

7,754,818

Gap-填充材料和底部抗反射涂层,包括超支化聚合物

7,745,540.

Gap-填充材料和底部抗反射涂层,包括超支化聚合物

7,608,380

旋转碗兼容的聚酰胺酸/酰亚胺作为湿式可涂覆的抗反射涂层的聚合物粘合剂

7,601,483

使用乙烯基醚交联剂的抗反射涂层

7,507,783

可热固化的中间层,包括多面体低聚Silsesquioxane,用于193-nm三层抗蚀剂过程

7,364,835

显影剂 - 可溶性材料和使用相同的方法在一般的双镶嵌应用中的方法

7,323,289

底部抗反射涂层衍生自具有多个环氧部分的小核心分子

7,261,997

旋转碗兼容的聚酰胺酸/酰亚胺作为湿式可涂覆的抗反射涂层的聚合物粘合剂

7,132,219

通过等离子体增强化学气相沉积沉积的聚合物抗反射涂层

7,132,216

用于聚合物抗反射涂层的非芳族发色团

7,108,958

光敏底部抗反射涂层

7,038,328

包含三嗪化合物的抗反射组合物

7,026,237

填充用于双层镶嵌过程的材料

6,962,769

具有改进的旋转碗相容性的抗反射涂料组合物

6,894,104

抗反射涂层和双镶嵌填充组合物包含苯lylyl醇共聚物

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